三坐標(biāo)測量儀一般都采用氣浮軸承，因此需要壓縮空氣；壓縮空氣的質(zhì)量直接影響三坐標(biāo)測量儀的正常工作及使用壽命；因此氣源處理，就顯得尤為重要。一般來說，三坐標(biāo)測量儀的氣源的雜質(zhì)主要來源于：由系統(tǒng)外部通過空壓機(jī)等吸入的雜質(zhì)、系統(tǒng)內(nèi)部產(chǎn)生的雜質(zhì)和系統(tǒng)安裝和維修時產(chǎn)生的雜質(zhì)；
1.從空壓機(jī)輸出的壓縮空氣中，含有大量的水分，油分和粉塵等雜質(zhì)，必須適當(dāng)?shù)那宄@些雜質(zhì)，以避免他們對氣動系統(tǒng)的正常工作造成的危害；
2.變質(zhì)油分的粘度增大，從液態(tài)鑄件固態(tài)化而形成油泥，這樣會堵塞氣浮塊的氣孔，造成氣動元件內(nèi)的相對運(yùn)動件的動作不靈活。水分會腐蝕金屬零件，管道內(nèi)滯留冷凝水，會導(dǎo)致流量不足，壓力損失增大。鐵屑和粉塵使運(yùn)動部件磨損，造成元件動作不良，粉塵會加速密封件損傷，導(dǎo)致漏氣。
3.空氣質(zhì)量不良也是氣動系統(tǒng)出現(xiàn)故障的主要的因素，使氣動系統(tǒng)的可靠性和使用壽命大大降低。
因此，三坐標(biāo)測量儀一般都配備氣源處理組件，進(jìn)行壓縮空氣的凈化處理；

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